SIMS- Sekundärionen-Massenspektrometer

SIMS- Sekundärionen-Massenspektrometer
SIM und EQS 6 mm Stabsystem – 300 amu, - 510 amu, EQS1000 und MAXIM 9 mm Stabsystem -510 amu, - 1000 amu, Ionenkanonen IG20, T25, IFG200

Es gibt Massenspektrometer für unterschiedliche Anwendungen und Ansprüche. Ein preiswerter Einstieg für einfache Routineuntersuchungen ist mit dem SIM-Analysator möglich.

Für anspruchsvolle Applikationen stehen die Analysatoren EQS (bis 500 amu, 6 mm Stabsystem) oder EQS 1000 (mit 9 mm Stabsystem, bis 1000 amu) zur Verfügung. Für höchste Performance wurde das System Maxim (9 mm Stabsystem, bis 1000 amu) entwickelt. Als Primär-Ionenquelle können die Ionenkanonen IG20 (Argon oder Sauerstoff) oder IG5C (Cäsium) verwendet werden. Alternativ kann auch Fast Atom Bombardment mit unserer IFG200 integriert werden.

In Kombination mit diesen Quellen wird von der mitgelieferten Software die Oberflächen – und Tiefenprofilanalyse unterstützt. Eine Einbindung unserer ‚rohen‘ Analysatoren in vorhandene UHV-Kammern ist genauso möglich, wie eine komplett-integrierte Lösung. Wer seine Analytik mit dieser Technik erweitern möchte, hat auch die Möglichkeit mit SIMS-on-a-Flange eine platzsparende Kanone/Detektor-Kombination auf einem Flansch in die vorhandene Kammer zu integrieren. Sprechen Sie uns an!

Spezielle SIMS-Anwendungen

Als hochsensitive Analysatoren werden unsere Massenspektrometer als komplette Workstation angeboten, vielfach werden Sie aber auch in speziellen, integrierten Anwendungen genutzt:

  • als Endpunktdetektion (EPD) in Ätzprozessen (Halbleiterforschung, -entwicklung und -produktion)
  • als Detektionsmethode in Rasterelektronenmikroskopen mit FIB-Option, FIB-SIMS (Detektion von leichten Elementen)
  • kombinierte SIMS/SNMS Analyse
  • Ionenstreuexperimente
  • u.v.m.

In vielen experimenten erweist sich SIMS als komplementär zu alternativen Techniken, insbesondere die Möglichkeit Ionen bekannter Energie nach der Masse zu analysieren und Ionen bekannter Masse im Bezug auf Energie zu analysieren eröffnet eine Vielzahl an analytischen Anwendungen.