Prozessgasanalyse

Prozessgasanalyse
HPR-20 QIC Plus, HPR30, HPR40 DSA, HPR80, Biostreamreactor - Gasanalyse

Prozessgasanalyse

Industrieprozesse erfordern eine langzeitstabile Messung von Prozessgasen. Speziell für diese Applikationen offeriert Hiden entsprechend konfigurierte Prozessgasanalyse – Systeme an. Je nach Prozessdruck und Anforderung sind verschiedene Systeme geeignet.

Analyse bei niedrigen Drücken

Die Überwachung der Vakuumqualität bei Prozessen die unter Vakuum durchgeführt werden, ist in vielen Anwendungen sehr wichtig. Typische Prozesse sind z.B. Beschichtungsverfahren (CVD, ALD, MOCVD), Ätzverfahren (Plasma, Ionenstrahl), Gefriertrocknung und andere. Für in diesen Anwendungen typische Druckbereiche bietet Hiden Analytical das HPR-30 als differenziell gepumpte Komplettlösung an.

Prozessgasanalyse aus verschiedenen Bereichen

Bei der Analyse von Prozessen ist es oftmals von signifikantem Interesse die Gaszusammensetzung in verschiedenen Bereichen eines Reaktors oder aber in verschiedenen Reaktoren zu überprüfen. Mit der Proteus-Baureihe von Hiden ist die automatisierte Analyse von bis zu 80 verschiedenen Gasströmen mit nur einem einzigen Massenspektrometer problemlos möglich. Aufgrund der vollintegrierten Lösung sind Ansprechzeiten von weniger als 1 Sekunde realisierbar.