EPIC Quadrupol Massenspektrometer für UHV Analysen

EPIC Quadrupol Massenspektrometer für UHV Analysen

von Neutralen, Radikalen und Ionen.

Triple Filter Quadrupole für präzise Gasanalysen und wissenschaftliche Applikationen.

  • Neutrale, Radikale, Positive & Negative Ionen
  • Elektronenanlagerungs-Studien
  • Oberflächenwissenschaften, Molekularstrahl-Studien
  • UHV Temperaturprogrammierte Desorption
  • High Performance RGA
  • Desorption / Ausgasstudien / Ausheizzyklen
  • Kammer / Prozessgasverunreinigungen

 

Hiden EPIC Massenspektrometer für hochpräzise Wissenschaften, Prozessanwendungen und UHV Analysen von Neutralteilchen, Radikale, und Ionen, mit folgende Eigenschaften:

  • Hohe Empfindlichkeit, erweiterter Detektionsbereich von 100% bis 5 ppb.
  • Massenbereich optional bis 2500 amu, 6, 9, 12 oder 20 mm Stabdurchmesser optional.
  • Erhöhte Langzeitstabilität (weniger als ±0.5% Höhenvariation über 24 h).
  • Ionenenergie Verteilung durch Mittel-Achsen Potential-Scanning ±100 V, 1000 eV Option.
  • Ionenquellen-Steuerung für Softionisation und „Appearance Potential“ Massenspektrometrie.
  • Erhöhte Empfindlichkeit für Transmission hoher Massen, automatische Massenanpassung.
  • Puls-Ionenzähldetektor für kontinuierliche 7 Dekaden umfassenden dynamischen Bereich, mit Faraday-Option bis 5×1010
  • Erhöhte Resistenz gegenüber Kontaminationen durch die RF-Vorfilter Stufe.
  • Signal Gating 1 µs Auflösung für Energie & Massenverteilungen vs Zeit oder TOF Studien.
  • Temperaturanzeige integriert in die Datenanzeige für thermische Desorptionsanwendungen.
  • Integrierte UHV kompatible Abschirmung, Flüssigstickstoffgekühlte Abschirmung als Option.
  • Windows™ 7 / Windows™ 10 – basierte MASsoft Steuerung via RS232, RS485 oder Ethernet LAN.
  • Upgradebar auf Plasma / SIMS Spezifikationen.

 

 

 

Applikationshinweise

 

icon Ein Vergleich von Positiven und Negativen RGA Methoden (533.86 kB)

icon EQS vs. EPIC – Ionenenergie-Verteilungsfunktion (270.08 kB)

icon Ionisation von Fullerenen (263.87 kB)

 

 

Technische Informationen

 

icon 3F Serie Quadrupol-Massenspektrometer – Abmessungen (289.94 kB)

icon Daten-/Steuerungseingänge und Ausgänge und Spezielle Anwendungen (16.38 kB)

icon EPIC 1000 Serie Abmessungen (41.97 kB)

icon Programmierbares Signal Gating Modul (216.52 kB)

icon RGA: Minimal Detektierbarer Partialdruck (107.72 kB)

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