HAL 3F Triple-Filter Massenspektrometer

Triple Filter Quadrupol-Massenspektrometer für Präzise Gasanalysen

Das HAL 3F Triple-Filter Massenspektrometer findet Anwendung in folgenden Bereichen:

  • Oberflächenwissenschaft
  • Molekularstrahlstudien
  • UHV Temperaturprogrammierte Desorption
  • Hochleistungs-RGA
  • Cluster Studien
  • Lecksuche / Virtuelle Lecks
  • Desorption / Ausgasstudien / Ausheizzyklen
  • Kammer / Prozessgasverunreinigungen

Hiden HAL 3F Massenspektrometer für hochpräzise wisschenschaftliche Prozessanwendungen und UHV-Applikationen, mit folgenden Eigenschaften:

  • Hohe Empfindlichkeit, erweiterter Detektionsbereich von 100% bis 5 ppb.
  • Massenbereich optional bis 2500 amu mit automatischer Massenskalenanpassung.
  • Erhöhte Langzeitstabilität (weniger als ±0.5% Höhenvariation über 24 h).
  • Ionenquellensteuerung für Softionisation und „Appearance Potential“ Massenspektrometrie.
  • Erhöhte Empfindlichkeit für Transmission hoher Massen, 6, 9, 12 oder 20 mm Stabdurchmesser optional.
  • Erhältlich in einer Vielzahl von integrierten Ionisator-Konfigurationen, wie z.B. „Low Profile“, XBS.
  • Erhöhte Resistenz gegenüber Kontaminationen durch die RF-Vorfilter Stufe.
  • Temperaturanzeige integriert in die Datenanzeige für thermische Desorptionsanwendungen.
  • Gepulster Ionenzähldetektor optional für kontinuierlichen 7 Dekaden umfassenden dynamischen Bereich.
  • MASsoft Steuerung via RS232, RS485 oder Ethernet LAN.

 

 

 

 

Broschüren

 

icon 3F Serie Quadrupol-Massenspektrometer (670.71 kB)

 

Poster

 

icon In-Situ Charakterisierung von ALD Titanium-Dioxid (552.58 kB)

 

 

Technische Informationen

 

icon 3F Serie Quadrupol-Massenspektrometer – Abmessungen (289.94 kB)

icon Daten-/Steuerungseingänge und Ausgänge und Spezielle Anwendungen (16.38 kB)

icon Quadrupol-Massenspektrometer für RGA, Gasanalyse und Prozessüberwachung (680.49 kB)

icon RGA: Minimal Detektierbarer Partialdruck (107.72 kB)

icon UHV TPD Analysator Kundenspezifische Abschirmungen (2.69 MB)

 

Produktspezifikation

 

icon 3F Triplefilter für Temperaturprogrammierte Desoprtion (84.34 kB)

icon Ultimative Sensitivität Quadrupol-Massenspektrometer Detektion (156.52 kB)

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