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Massenspektrometer
für die Gasanalyse
QGA
HPR Serie
HPR 20
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für die Restgasanalyse
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für Dünnfilm, Plasma und Oberflächentechnik
HPR 30
PSM
EQP
ESPion
XBS
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TPD Workstation
SIMS Workstation
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MAXIM
für die Oberflächenanalyse
SIMS Workstation
EQS
MAXIM
Ionen/FAB Kanonen
IG5C
IG20
für die Katalyse und thermische Analyse
CATLAB
SpaciMS
TPD Workstation
TGA-MS
3F-PIC
HPR 20
Anwendungen
Gasanalyse
Katalyse TPD/TPR/TPO
Analyse von Gasen in Flüssigkeiten
Gasanalysen mit hoher Reinheit
Gefriertrocknung
Fermentation
Brennstoffzellen
Analysen von Wasserstoff, Deuterium und Tritium
Gasproduktion und Speicherung
Atmosphärische Gasreaktionskinetik
Vakuum Prozessgasanalysatoren CVD / MOCVD / ALCVD
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Katalyse
Thermische Analysen TA-MS
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