Vakuum Prozessgas-Analysator – HPR-30

Zur Untersuchung aller Komponenten in Ihrer Kammer oder von erzeugten Gasen im System.

  • CVD / PECVD / RIE / LPCVD / MOCVD
  • Vakuumbeschichtung / Plasmaätzen
  • Sputter-Abscheidung
  • Kontaminationsuntersuchungen
  • Basisdruck Fingerprint
  • Lecksuche / Virtuelle Lecks / Desorption
  • Ausgasen / Ausheizen / Pumpleistung
  • Kammer / Prozessgas Kontaminationen

Das HPR-30 Prozessgas-Analysesystem ist ein kompaktes Gasanalyssystem zur Überwachung von Restgasen und Vakuumprozesse, mit folgenden Eigenschaften:

  • Kompakt Konstruktion auf Labortisch / Mobiler Wagen / Konsoleneinbau.
  • Direkte  „Re-Entrant“-Blende mit differentieller Pumpstufe für optimale Empfindlichkeit / Reaktion.
  • Kontinuierliche Probennahme von 1 mbar bis 10-4 mbar.
  • Hohe Empfindlichkeit (bis 5 ppb), Massenbereich optional bis 1000 amu.
  • Soft-Ionisation für die Analyse komplexer organischer Verbindungen / „Appearance MS“ Studien.
  • Stabilität (weniger als ±0.5% Höhenvariation über 24 h).
  • MASsoft Steuerung via RS232, RS485 oder Ethernet LAN.
  • Pneumatische Ventilsteuerung zum automatischen Betrieb mit manueller Korrektur und ausfallsicherem Isolator bei Stromausfall oder Überdruck.
  • Automatische simultane Datenaufnahme / Analyse mit lokaler Alarmanzeige.

 

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Broschüren

icon Hiden HPR-30 Serie Prozessgasanalysatoren (1.11 MB)

 

 

Poster

 

icon Partialdruckregelung beim Reaktiv-Sputtern (342.36 kB)

 

 

Präsentationen

 

icon HPR-30 – Überwachung der TiN Abscheidung (112.38 kB)

icon HPR30 Serie Prozessgasanalysator (357.46 kB)

 

 

Applikationshinweise

 

icon HPR-30 Serie zur Prozessentwicklung (120.26 kB)

icon Partialdruckregelung beim Reaktiven Sputtern (199.8 kB)

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