RGA Serie Quadrupol-Massenspektrometer

Restgasanalysatoren für Vakuumdiagnose und Lecktests

  • RGA/ Lecksuche
  • Virtuelle Lecks / Desorption
  • Ausgasuntersuchungen
  • Ausheizzyklen
  • Leistungsfähigkeit von Pumpen
  • Kammer / Prozessgas-Kontaminationen

Hiden RGA Serie Quadrupol Massenspektrometer zur Überprüfung von Komponenten in einer Kammer oder aus einem Prozess erzeugten, mit folgenden Eigenschaften:

  • ppm Sensitivität, Massenbereich bis 300 amu, Fernbedienbar (PC) oder Lokale Bedienschnittstelle (LC).
  • Stabilität (weniger als ±0.5% Höhenvariation über 24 h).
  • MASsoft Steuerung über RS232, USB oder meherere Systeme über Ethernet LAN.
  • Schnellzugriff auf Histogram, Trend-Analysen und Analogsignal Anzeigen.
  • Mixed-Mode Funktion z.B. Trend, Histogramm und Analogsignale in mehreren Fenstern.
  • Simultane Echtzeitanzeige von graphischen und tabellarischen Trendanalysedaten.
  • Cursor für Identifikation der Signalhöhe mit Maussteuerung.
  • Hintergrund-Subtraktion in Echtzeit, Automatische Anpassung der Massenskala.
  • Daten-Export in ASCII Format und zu allen Windows Anwendungen.
  • netMASsoft, ein On-Board Web Server für RGA Bedienung von ihrem Web Browser.

 

 

Broschüren

icon RGA Serie Quadrupol-Massenspektrometer (1.48 MB)

 

Applikationshinweise

icon Partialdruckregelung beim Reaktiven Sputtern (199.8 kB)

 

Technische Informationen

icon Quadrupol-Massenspektrometer für RGA, Gasanalyse und Prozessüberwachung (680.49 kB)

icon RGA Serie Quadrupol-Massenspektrometer – Abmessungen (43.74 kB)

Schreibe einen Kommentar

Deine E-Mail-Adresse wird nicht veröffentlicht. Erforderliche Felder sind mit * markiert.