HMT100-RC

Hochdruck Restgas Analysator – HMT100-RC

DUAL MODE RGA System für Vakuumdiagnose und Prozess-Monitoring

  • Prozess-Monitoring
  • RGA/ Lechsuche
  • Virtuelle Lecks / Desorption
  • Ausgas-Studien
  • Bakeout Zyklen
  • Pumpen-Performance
  • Kammer / Prozessgaskontaminationen

Hiden HMT RGA Quadrupol-Massenspektrometer ist ein einzigartiges Dual Mode RGA System zur Überprüfung von Komponenten in einer Prozesskammer oder der Messung von im Prozess erzeugten Gasen, mit folgenden Eigenschaften:

  • HMT Modus für Betrieb bei Hochdruck bis 4×10-3 Torr (min Druck 4×10-8 Torr).
  • RGA Modus für Betrieb bei hoher Empfindlichkeit bei P < 10-4 Torr (min Druck 1×10-11 Torr).
  • 100 amu Massenbereich, Fernsteuerbare (PC) Schnittstelle mit MASsoft HMT.
  • Stabilität (weniger als ±1% Höhenvariation über 24 h).
  • MASsoft HMT Steuerung via RS232, RS485 oder multiple Systeme via Ethernet LAN.
  • Schneller Zugriff, gemischter Scan Modus z.B. Trend und Analog in mehreren Fenstern.
  • Simultane Anzeige in Echtzeit von graphischen und tabellarischen Analysedaten.
  • Cursor für Signalhöhen-Identifikation per Maussteuerung.
  • Echtzeit Hintergrundsubtraktion, Automatische Massenskalenanpassung.
  • Datenexport ins ASCII Format und zu allen Windows Geräten.
  • Dynamic Data Exchange für Echtzeit Datentransfer zu anderen DDE Client kompatiblen WindowsTM Anwendungen wie z.B. EXCEL, SPC-IV statistische Prozesssteuer-Software.

 

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