XBS

Triple Filter Massenspektrometer konfiguriert für k-cell und e-gun MBE Überwachung der Abscheideraten.

XBS Triple Filter Quadrupol konfiguriert für multiple Quellenüberwachung in MBE Anwendungen. Der kundenspezifisch konfigurierte Ionizer bietet höchste Stabilität, hohe Sensitivität bei der Überwachung von Oxiden und Metallen von k-cell und Elektronenstrahl-Quellen.

  • MBE Monitoring und Steuerung.
  • Molekularstrahl-Studien.
  • Multiple Strahlquellenanalysen.
  • High Performance RGA.
  • Desorption / Ausgasstudien / Ausheizzyklen.
  • Kammer / Prozessgasverunreinigungen.

 

Hiden XBS Massenspektrometer für hochpräzise Wissenschaften, Prozessanwendungen und MBE Analysen, mit folgenden Eigenschaften:

  • Hohe Empfindlichkeit, erweiterter Detektionsbereich von 100% bis 5ppb, Massenbereich bis 510 amu.
  • Erhöhte Langzeitstabilität (weniger als ±0.5% Höhenvariation über 24 h).
  • Crossbeam Ionenquelle, Strahlakzeptanz über +/- 35° zu transversaler Achse.
  • Ionenquellen-Steuerung für Softionisation und „Appearance Potential“ Massenspektrometrie.
  • Erhöhte Empfindlichkeit für Transmission hoher Massen, automatische Massenanpassung.
  • 2 mm Strahlakzeptanz-Blendenöffnung – konfiguriert für spezifische Nutzeranwendungen.
  • Erhöhrte Resistenz gegenüber Kontaminationen durch die RF-Vorfilter Stufe.
  • Integrierte UHV kompatible wassergekühlte Abschirmung.
  • Detektionslimit hinunter bis zu 30 Ionen / s in Molekularstrahlstudien.
  • Überwachung von Aufwachsraten von 1Å / min und niedriger.
  • Windows™ 7 – basierte MASsoft Steuerung via RS232, RS485 oder Ethernet LAN.

 

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Broschüren

 

icon XBS Monitor für den Molekularstrahlepitaxieprozess (389.22 kB)

icon Massenspektrometer für Dünne Schichten, Plasma und Oberflächenwissenschaften (1.03 MB)

 

 

Technische Informationen

 

icon XBS MBE Abscheideraten-Monitor – Sondenabschirmung schematisch (212.61 kB)

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