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Hiden Ion Milling Probe – Endpunktdetektor

Das einzige zur Endpunkterkennung geeignete Werkzeug für Kontrolle und optimale Prozessqualität von Ionenätzern

  • Endpunktanalysen
  • Erkennung von Target-Verunreinigungen
  • Qualitätskontrolle / SPC
  • Restgasanalysen
  • Lecksuche

Das IMP ist ein differentiell gepumptes, robustes Sekundärionen-Massenspektrometer für die Analyse von Sekundärionen und Neutralteilchen in einem Ionenätz-Prozess, mit folgenden Eigenschaften:

  • SIMS / MS mit hoher Empfindlichkeit mit gepulstem Ionenzähldetektor.
  • Triplefilter-Quadrupol, 300 amu Massenbereich ist Standard.
  • Differentiell gepumptes Manifold mit Anschlussflansch zur Prozesskammer.
  • Ionenoptik mit Energieanalysator und integriertem Ionisator.
  • Penning Messröhre und Interlocks zum Schutz vor Überdruck.
  • Datensystem mit Integration in die Prozessanlage.
  • Stabilität (weniger als ±0.5% Höhenvariation über 24 h).
  • MASsoft Steuerung via RS232, RS485 oder Ethernet LAN.
  • Programmierbare DDE, Parallel Digital I / O, RS232 Script-Kommunikation.

 

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Broschüren

 

icon IMP Serie – Endpunktdetektoren (902.2 kB)

icon Massenspektrometer für Dünne Schichten, Plasma und Oberflächenwissenschaften (1.03 MB)

 

 

Applikationshinweise

 

icon IMP Endpunktdetektionssystem für Ionenätzanwendungen (277.87 kB)

icon HAL IMP Endpunktdetektor – Materialleitfaden (73.32 kB)

 

 

Technische Informationen

 

icon Daten-/Steuerungseingänge und Ausgänge und Spezielle Anwendungen (16.38 kB)