PSM

ein Massen- und Energieanalysator für Plasmadiagnostik

Komplettsystem zur energieaufgelösten Massenspeziation und massenaufgelösten Energieanalysen von Sekundärionen und Neutralen in ihrem Plasma:

  • Reaktives Ionenätzen
  • Plasmaabscheidung
  • Ionenimplantation / Laserablation
  • Restgasanalysen
  • Lecksuche

Das PSM ist ein differentiell gepumptes Massenspektrometer für die Analyse von Sekundärionen und Neutralteilchen im Plasmaprozess, mit folgenden Eigenschaften:

  • Differentiell gepumptes Manifold mit Flanschadapter zur Prozesskammer.
  • Hohe Empfindlichkeit / Stabilität des Triplefilter Quadrupols mit optionalem Massenbereich bis 510 amu.
  • Gepulster Ionenzähl-Detektor mit 7 Dekaden dynamischem Bereich.
  • Energieanalyse optional durch Vorspannung (Bias) der Stäbe mit bis zu 100 eV.
  • Ionenextraktions- / Ausgrenzungsoptik mit abstimmbarem integrierten Ionisator für „Appearance Potential“ MS.
  • Penning Messröhre und Interlocks zum Schutz vor Überdruck.
  • Signal Gating und programmierbare Signal Gating Option für zeitaufgelöste Studien in gepulsten Plasmen.
  • Analysen von Neutralteilchen und Radikalen als Standard, +ve / -ve Ionenanalysen als Option.
  • Mu-Metall, Radio-Metall Abschirmungsoptionen, optionaler Betrieb bei hohen Drücken.
  • MASsoft Steuerung via RS232, RS485 oder Ethernet LAN.

 

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Broschüren

 

icon Massenspektrometer für Dünne Schichten, Plasma und Oberflächenwissenschaften (1.03 MB)

 

 

Poster

 

icon Zeitaufgelöste Ionisationsstudien von HIPIMS – PSE 2006 (847.63 kB)

 

 

 

Applikationshinweise

 

icon Energetische (Schnell) Analyse von Neutralen Teilchen (84.43 kB)

 

 

Technische Informationen

 

icon Daten-/Steuerungseingänge und Ausgänge und Spezielle Anwendungen (16.38 kB)

icon Programmierbares Signal Gating Modul (216.52 kB)

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