Langmuir Sonde ESPion

Langmuir Sonde ESPion

eine fortschrittliche Langmuir Probe zur Plasma-Diagnose mit der Langmuir Sonde ESPion

Die fortschrittlichste und zuverlässigste Langmuir Probe, verfügbar für folgende Anwendungen:

  • Etching / Deposition / Cleaning Plasmaprozesse
  • Gepulster Plasmabetrieb
  • Ionenansammlung (Ni & Gi)
  • Elektronenretardation (Te & EEDF)
  • Electronsammlung (Ne)
  • Plasmapotential
  • Debye-Länge, Floating-Potenzial
  • Ionenfluss

Die ESPion Advanced Langmuir Sonde zur schnellen, verlässlichen und genauen Plasmadiagnose für Industrie und Wissenschaft, mit folgenden Eigenschaften:

  • 15 Scans pro Sekunde Datenaufnahmerate mit D-O-E Interface für automatische, semi-automatische oder manuelle Analysen.
  • Hiden bereitete den Weg für die passive RF Kompensation, die ESPion Langmuirsonde hat die höchste Sperrimpedanz aller am Markt erhältlichen Langmuir-Sonden (4.25 MOhm bei 13.56 MHz cf. 100 kOhm).
  • Gasgekühlte Multi-Drosselkette für Betrieb mit Hochtemperatur-Plasmen ist vom Nutzer austauschbar zur Abstimmung an andere Frequenzen.
  • Referenzprobe kompensiert Niederfrequenz-Effekte wie z.B. Verschiebung im Plasmapotenzial (z.B. anodisierte Kammerwand) oder Rauschen (z.B. Netzteil).
  • ESPion bietet die schnellste gepulste Plasmaspezifikationen aller am Markt erhältlicher Sonden, ESPsoft enthält alle notwendigen Taktschaltkreise als Standard.
  • 300, 600 oder 915 mm Auto-Linear Antrieb optional, Isolierventil mit Interlock, 90° Sonden, kombinierter Liner-Rotations Antrieb als Option verfügbar.
  • Selbstreinigungs-Zyklen um die Kontamination der Sondenspitzen zu limitieren.
  • ESPsoft Steuerung via RS232, RS485 oder Ethernet LAN.

 

 

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Broschüren zur Langmuir Sonde

icon ESPION Serie Advanced Langmuirsonden zur Plasmadiagnose (309.28 kB)

 

Applikationshinweise für die Langmuirsonde

icon Charakterisierung eines ICP Reaktors (I) (157.62 kB)

icon Charakterisierung eines ICP Reaktors (II) (284.15 kB)

icon ESPION Langmuir Sonde (178.54 kB)

icon ESPION Langmuir Sonde für Zeitaufgelöste Messungen (335.21 kB)

 

Technische Informationen zur Langmuir Sonde

icon ESPION Langmuir Sonde (346.56 kB)

icon ESPION Sonde – Zeichnung (40.17 kB)

icon ESPION Standard 300 mm Z-Antrieb – Zeichnung (80.82 kB)

icon Einführung in die Hochdruck-Analysetechnik einer Langmuir-Sonde (183.07 kB)

icon Einführung in Langmuir Sonden (147.72 kB)

icon Gepulster Plasmabetrieb einer HIDEN ESPION Langmuir-Sonde (309.12 kB)

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