EQP

Massenanalysator und Energieanalysator für Plasmauntersuchungen

Plasmaanalyse-System zur energieaufgelösten Massen-Speziation und massenaufgelösten Energieanalyse aller Spezies in ihrem Plasma

  • Positive Ionen, Negative Ionen, Neutrale Radikale und Analyse von Neutralteilchen.
  • Ätzen / Depositionsstudien
  • Ionenimplantation / Laserablation
  • Restgasanalysen / Leckdetektion
  • Plasmaelektrodenkopplung – folgt den Elektrodenbedingungen während des Betriebs.
  • Analyse durch ein Sichtfenster, geerdete Elektrode, fahrbare Elektrode.

Das Hiden EQP ist ein kombinierter Massen-/Energieanalysator für die Plasmaanalyse von positiven und negativen Ionen, Neutralteilchen und Radikalen aus dem Plasmaprozess, mit folgenden Eigenschaften:

  • Softwaregesteuerte Ionenextraktionsoptik für Plasma-Störungen.
  • 45° Elektrostatischer Sektoranalysator, Scan-Energien in 0.05 eV Schritten/ 0.25 eV FWHM.
  • Minimale Störung des Ionenflugpfades & konstante Ionentransmission bei allen Energien.
  • Differentiell gepumpter Triplefilter-Quadrupol, Massenbereich optional bis 2500 amu.
  • Hohe Sensitivität / Stabilität des gepulsten Ionenzähldetektors mit 7 Dekaden umfassenden dynamischem Bereich.
  • Abstimmbarer integrierter Ionisator für „Appearance Potential MS“ mit Option zur Elektronenanlagerung.
  • Penning-Meßröhre und Schalter zum Schutz vor Überdruck (Interlocks).
  • Signal-Gating und programmierbare Signal-Gating Option für zeitaufgelöste Untersuchungen in gepulsten Plasmen.
  • 1000 eV Option, Floating Option bis zu 10 keV, Faraday Cup für „High Density“ Plasmen.
  • Mu-Metall, Radio-Metallabschirmung optional, Option für Hochdruckbetrieb.
  • MASsoft Steuerung via RS232, RS485 oder Ethernet LAN.

 

 

 

 

Broschüren

 

icon EQP Massen- und Energieanalysator 

icon Massenspektrometer für Dünnfilm-, Plasma- und Oberflächenanalysen

 

 

Poster

 

icon Atmosphärische Plasmaanalyse mit Molekularstrahl-Massenspektrometer (1.34 MB)

icon Atmosphärendruck Plasmaanalysen ICPIG (255.33 kB)

iconEffekte der Pulsierung auf die P-CFUBMS der CrAIN Beschichtungen (3.55 MB)

icon Ionenenergieverteilung für ein DC Plasma (249.6 kB)

icon Massenspektrometer Studien von Niederdruck Mikrowellenplasmen zur Erzeugung atomarer Spezies (1.57 MB)

icon Oberflächenanalyse durch Plasmaunterstützte Desorption-Ionisations-Massenspektrometrie (PADI-MS) (194.72 kB)

icon EQP Poster A1 Print (2.53 MB)

 

Applikationshinweise

 

icon Eine neuartige Methode für die Studien Neutraler Komponenten im Prozessplasma (84.04 kB)

icon Eine verbesserte Methode für die Studie Neutraler Komponenten im Prozessplasma (145.2 kB)

icon Charakterisierung eines ICP Reaktors (I) (157.62 kB)

icon Charakterisierung eines ICP Reaktors (II) (284.15 kB)

icon Energetische (Schnell) Analyse von Neutralen Teilchen (84.43 kB)

icon Energien von Ionen die durch eine DC Biased RF Elektrode gesammelt wurden (184.06 kB)

icon Energieverteilung von Ionen und Atomen aus einer Magnetron-Quelle (172.14 kB)

icon EQP Diagnosesystem – Überblick (177.87 kB)

icon EQP Radikale aus einem Plasma (106.29 kB)

icon EQP/EQS Zeitaufgelöste Studien in Ionenstrahl- und Plasmaprozessen (245.57 kB)

icon Untersuchung von Plasmen bei Atmosphärischem Druck (235.54 kB)

icon Ionenenergie-Verteilung von Positiven Ionen in einer Argon-Entladung (118.31 kB)

icon Ionenenergie-Verteilung von Positiven Ionen in einer Argon-Entladung (118.31 kB)

icon Massenspektrometrie von Plasmaprozessen mit dem EQP/Massen- und Energie-Analysator (104.71 kB)

icon Die Energien von Positiven und Negativen ionen in einem RF Plasma in Lachgas (173.12 kB)

icon Studien von Magnetron Sputter-Abscheidungen Dünner Schichten (102.84 kB)

 

 

Technische Informationen

 

icon Daten-/Steuerungseingänge und Ausgänge und Spezielle Anwendungen (16.38 kB)

icon EQP und EQS – Technische Information (200.03 kB)

icon EQP 1000 – Sonde schematisch (65.98 kB)

icon EQP 300 500 Serie – Sonde Zeichnung (68.54 kB)

icon Programmierbares Signal Gating Modul (216.52 kB)

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