SIMS Workstation

Ein Oberflächenanalysesystem für Tiefenprofile Dünner Schichten

Eine robuste SIMS und SNMS Analysestation für universelle Anwendungen.

  • Schnelle Messdurchführung aller Arten von Proben
  • Statische und dynamische SIMS
  • Integrierter Ionisator für SNMS und RGA
  • Auswahl verschiedener Ionenkanonen
  • SNMS Oberflächen-Darstellung / Bildgebung
  • Oberflächen-Kontaminationsanalysen
  • Quantifizierung von Matrizenebenen mittels SNMS
  • Flexible und aufrüstbare Konfiguration
  • Niedrige Unterhaltskosten („Cost-Of-Ownership“)

Die Hiden SIMS Workstation, eine integrierte UHV / SIMS-Einheit für fortgeschrittene Oberflächenanalysen, mit folgenden Eigenschaften:

    • Hiden MAXIM SIMS Analysator betrieben unter MASsoft für ppb Analysen.
    • Integrierter Ionisator für effiziente SNMS Analysen.
    • Auswahl von differentiell gepumpten Hiden IG20 Gas, IG-5C Cäsium, IFG200 FAB oder Hochleistungs-Flüssig-Gallium-Kanone als primäre Anregungsquelle.
    • Integrierte Ionenkanonen-Abtaststeuerung mit Signal-Gating für Tiefenprofilanalysen.
    • „Electron Flood Gun“ Option zur Ladungsneutralisation in Isolator-Studien.
    • Vakuumkammer Ausheizeinrichtung.
    • Schneller Probentransfer, Probenhalter und Manipulator mit Ladestation.
    • UHV Manipulator für optimale Probenpositionierung.
    • SIMS Element-Bildgebung als Option mit ESM LabVIEW SIMS Imaging Programm.
    • Statische SIMS Spektral-Bibliothek erhältlich.
    • Automatische SIMS Ionenoptik Linsen-Tuning, und automatische Massen-Anpassung für optimale SIMS Performance.

 

 

 

Broschüren

 

icon Massenspektrometer für Dünne Schichten, Plasma und Oberflächenwissenschaften 

icon SIMS Broschüre TI 181 (669.66 kB)

icon SIMS Broschüre TI 181 HiRes (5.5 MB)

 

 

 

Applikationshinweise

 

icon SIMS – Glasbeschichtung (29.24 kB)

icon Sekundär-Neutralteilchen-Analyse (300.59 kB)

icon SIMS – Analyse von Semiconductor Kontakt-Pads (492.17 kB)

icon SNMS – Tiefenprofile einer Hard Disk Oberfläche (559.39 kB)

icon SNMS – Magnetische Schichten (88.44 kB)

icon Tour durch die Hiden SIMS Workstation (6.07 MB)

 

 

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