SIMS Workstation

Ein Oberflächenanalysesystem für Tiefenprofile Dünner Schichten

Eine robuste SIMS und SNMS Analysestation für universelle Anwendungen.

  • Schnelle Messdurchführung aller Arten von Proben
  • Statische und dynamische SIMS
  • Integrierter Ionisator für SNMS und RGA
  • Auswahl verschiedener Ionenkanonen
  • SNMS Oberflächen-Darstellung / Bildgebung
  • Oberflächen-Kontaminationsanalysen
  • Quantifizierung von Matrizenebenen mittels SNMS
  • Flexible und aufrüstbare Konfiguration
  • Niedrige Unterhaltskosten („Cost-Of-Ownership“)

Die Hiden SIMS Workstation, eine integrierte UHV / SIMS-Einheit für fortgeschrittene Oberflächenanalysen, mit folgenden Eigenschaften:

    • Hiden MAXIM SIMS Analysator betrieben unter MASsoft für ppb Analysen.
    • Integrierter Ionisator für effiziente SNMS Analysen.
    • Auswahl von differentiell gepumpten Hiden IG20 Gas, IG-5C Cäsium, IFG200 FAB oder Hochleistungs-Flüssig-Gallium-Kanone als primäre Anregungsquelle.
    • Integrierte Ionenkanonen-Abtaststeuerung mit Signal-Gating für Tiefenprofilanalysen.
    • „Electron Flood Gun“ Option zur Ladungsneutralisation in Isolator-Studien.
    • Vakuumkammer Ausheizeinrichtung.
    • Schneller Probentransfer, Probenhalter und Manipulator mit Ladestation.
    • UHV Manipulator für optimale Probenpositionierung.
    • SIMS Element-Bildgebung als Option mit ESM LabVIEW SIMS Imaging Programm.
    • Statische SIMS Spektral-Bibliothek erhältlich.
    • Automatische SIMS Ionenoptik Linsen-Tuning, und automatische Massen-Anpassung für optimale SIMS Performance.

 

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Broschüren

 

icon Massenspektrometer für Dünne Schichten, Plasma und Oberflächenwissenschaften (1.03 MB)

icon SIMS Broschüre TI 181 (669.66 kB)

icon SIMS Broschüre TI 181 HiRes (5.5 MB)

 

 

 

Applikationshinweise

 

icon SIMS – Glasbeschichtung (29.24 kB)

icon Sekundär-Neutralteilchen-Analyse (300.59 kB)

icon SIMS – Analyse von Semiconductor Kontakt-Pads (492.17 kB)

icon SNMS – Tiefenprofile einer Hard Disk Oberfläche (559.39 kB)

icon SNMS – Magnetische Schichten (88.44 kB)

icon Tour durch die Hiden SIMS Workstation (6.07 MB)

 

 

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