MAXIM

Sekundärionen-Massenspektrometer für UHV Oberflächenanalysen und SNMS.

Ein State-of-the-Art Sekundärionen-Massenspektrometer für statische und dynamische SIMS und SNMS Applikationen.

  • Integrierter Energiefilter für Ionenakzeptanz bei 30° zur Probenachse
  • Hochtransmissions SIMS Extraktions-Ionenoptik
  • Hocheffizienter Elektronenstoß SNMS Ionisator
  • Triple Massenfilter
  • Pulsionenzähldetektor
  • Steuerungselektronik mit Windows MASsoft PC Software
  • Raster-Steuerung für Bildgebung und Tiefenprofil-Analyse

Spezifikation für MAXIM Analysator

  • SIMS – 3×106 cps/nA für 27Al+ gesputtered von Al Target mit 5 keV Ar+ Ionen
  • SNMS – >80 cps/nA für 107Ag gesputtered von Ag Target mit 5 keV Ar+ Ionen

 

MAXIM der empfindlichste Quadrupol SIMS Analysator für die empfindlichste Element-Analysetechnik.

  • Massenbereich Optionen: 300amu, 500amu oder 1000amu
  • Detektor: Ionenzähldetektor, Positive und Negative Ionendetektion, 107 cps
  • Massenfilter: Triple-Filter
  • Stabdurchmesser: 9 mm
  • Bakeout: 250°C
  • Ionenenergiefilter: 30° Akzeptanzwinkel
  • Ionisator: Elektronenbombardment, Einzelfilament für SNMS und RGA

 

 

 

Broschüren

iconOberflächenanalyse Katalog 

icon MAXIM Quadrupol SIMS Analysator (561.59 kB)

 

 

Applikationshinweise

 

icon SIMS – Glasbeschichtung (29.24 kB)

icon SIMS – Analyse von Semiconductor Kontakt-Pads (492.17 kB)

icon SNMS – Tiefenprofile einer Hard Disk Oberfläche (559.39 kB)

icon SNMS – Magnetische Schichten (88.44 kB)

icon Tour durch die Hiden SIMS Workstation (6.07 MB)

 

 

Technische Informationen

 

icon Programmierbares Signal Gating Modul (216.52 kB)

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