EQS

EQS – Sekundärionen-Massenspektrometer als SIMS Analysator. State-of-the-Art Anbau-SIMS-Sonde zur Integration an existierende UHV-Kammern für Oberflächenwissenschaften.

  • Statische / Dynamische SIMS mit Energieanalyse
  • Integrierter Frontend Ionisator zur RGA
  • Komposition / Kontaminationsanalysen
  • Tiefenprofile
  • Leckdetektion und desorbierte Gasanalysen
  • Kompatibel mit Hiden SIMS Workstation
  • Anpassungsfähig für FIB-SIMS Integration

Spezifikationen für EQS der Serie 1000

  • 5×105 cps/nA für 27Al+ von einem Al Target bei einem Bombardement mit 5keV Ar+
  • 100 cps/nA für Cs(CsI)3+ bei 913 amu von einem CsI Target unter einem Bombardment mit 5keV O2+ 

 

Das EQS Sekundärionen-Massenspektrometer zur Analyse von sekundären positiven und negativen Ionen von einer festen Probe, mit folgenden Eigenschaften:

    • Pulsionenzähl-Detektor mit hoher Sensitivität über einen dynamischen Bereich von 7 Dekaden.
    • Rastersteuerung zur erhöhten Tiefenprofilanalyse und Bildgebung mit integriertem Signal-Gating.
    • 45° Elektrostatischer Sektoranalysator, Abtastenergie bei 0.05 eV Schrittweite/ 0.25eV FWHM.
    • Minimale Störung des Ionen-Flugpfades & konstante Ionentransmission bei allen Energien.
    • Triple-Filter Quadrupol, Massenbereiche bis 2500 amu optional.
    • Penning-Messröhre und Interlocks zum Schutz vor Überdruck.
    • Differentiell gepumpte Option zur Verwendung in Hochdruckumgebung.
    • MASsoft Steuerung via RS232, RS485 oder Ethernet LAN.
    • Einfache Verbindung mit existierenden Systemen.

 

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Broschüren

 

icon SIMS Broschüre TI 181 (669.66 kB)

icon SIMS Broschüre TI 181 HiRes (5.5 MB)

 

Poster

 

icon Hochleistungs-SIMS – Massen- und Energieanalysator für SIMS (DIN A2) (584.66 kB)

icon Hochleistungs-SIMS – Massen- und Energieanalysator für SIMS (DIN A3) (339.8 kB)

 

 

Applikationshinweise

 

icon Energetische (Schnell) Analyse von Neutralen Teilchen (84.43 kB)

icon EQP/EQS Zeitaufgelöste Studien in Ionenstrahl- und Plasmaprozessen (245.57 kB)

icon EQS vs. EPIC – Ionenenergie-Verteilungsfunktion (270.08 kB)

icon Schnelle Analyse von Neutralteilchen (300.59 kB)

icon Schnelle Analyse von Neutralteilchen (300.59 kB)

 

 

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