IG20

5 keV Argon oder Sauerstoff Ionenquelle für UHV Oberflächenapplikationen. State-Of-The-Art Ionenkanone für Anwendungen in der Oberflächen- und Tiefenprofilanalyse.

  • Statische und Dynamische SIMS
  • Auger Elektronenspektroskopie
  • Ionenstrahl-Sputtern
  • Oberflächenstudien
  • Abrasterung / Tiefenprofil

Die Hiden IG20 Ionenkanone für statische und dynamische SIMS, mit folgenden Eigenschaften:

  • Intensiver Ionenstrahl mit 100 µm Spotgröße und Energien von 0.5 – 5 keV.
  • Hochstromdichte, bis zu 4.5 mA/cm².
  • Elektronenstoßquelle mit Argon und Sauerstoff-Tauglichkeit.
  • Steueroptik für Linien-Streuung und Strahlrasterung in Tiefenprofilen.
  • 3° Offset in der Ionenkanonensäule für optimales Rückhalten von Neutralteilchen.
  • Strahlblendeneinrichtung für Anwendungen mit schneller Strahlumschaltung.
  • Quelle differentiell gepumpt für reduzierte Kammergasbeladung.
  • Einfach austauschbare Doppelfilament Assembly.
  • Sweepraten bis minimal 64 µs.
  • Integrierte Bedienung mit SIM und EQS Proben für direkte Rasterraten- / Flächensteuerung.

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Broschüren

icon IG20 Sauerstoff/Gaskanone (820.44 kB)

Applikationshinweise

icon Schnelle Analyse von Neutralteilchen (300.59 kB)

icon SIMS – Glasbeschichtung (29.24 kB)

icon Schnelle Analyse von Neutralteilchen (300.59 kB)

icon SIMS – Analyse von Semiconductor Kontakt-Pads (492.17 kB)

icon SNMS – Tiefenprofile einer Hard Disk Oberfläche (559.39 kB)

icon SNMS – Magnetische Schichten (88.44 kB)

icon Tour durch die Hiden SIMS Workstation (6.07 MB)

Produktspezifikation

icon IG20 Ionenkanone für Dynamische SIMS (60.37 kB)

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