Semiconductor

Halbleiterindustrie – Produktion und Forschung

Quadrupol-Massenspektrometer für Dünne Schichten und Oberflächenphysik.

Die Halbleiterfertigung enthält eine Vielzahl von Vakuum-, Gas- und Plasmaprozessen, die eine leistungsfähige Prozessentwicklung erfordern und zusätzlich eine Prozessüberwachung für hochentwickelte Herstellungsprozesse und steigende Produktausbeuten benötigen.

 

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