Gasanalyse

Gasanalyse
Hiden QGA - Differentiell gepumptes Massenspektrometer für die Gasanalyse bei Atmosphärendruck

Gasanalyse

Für die dynamische in-situ Gasanalyse sind unterschiedliche Varianten für Aufgabengebiete in der Automobilindustrie, Raumfahrt, Lebensmitteltechnologie, Chemischen Industrie, Pharmaindustrie und in der Halbleiterindustrie verfügbar. Hidens Präzisions – Quadrupole mit beheizten Einlassoptionen ermöglichen die Analyse von Spuren bis in den ppb – Bereich, nicht nur von Gasen, auch Dämpfe können analysiert werden. Diese Nachweisgrenzen sind für die Forschung speziell bei der Entwicklung von Brennstoffzellen oder Erforschung von Katalysatoren oder auch in der Halbleiterindustrie von höchstem Interesse. Auch eine quantitative Gasanalyse für Gasreaktionsstudien, on-line Verfahrenssteuerung, Reinheitsanalyse und Messungen der Gaszusammensetzung ist mit diesen Messsystemen möglich. Für die Kopplung mit anderen Geräten bieten wir speziell entwickelte Schnittstellen, um eine optimale Probennahme zu ermöglichen.

 

Differentiell gepumpte Systeme für jeden Druckbereich

Die unterschiedlichen Analysenumgebungen erfordern spezielle Einlasssysteme, um das UHV für die Analyse durch das Quadrupol-Massenspektrometer zu gewährleisten. Mit maßgeschneiderten differenziell gepumpten Systemen bietet Hiden für unterschiedlichste Druckbereiche Lösungen.

 

Vorteile der Gasanalyse durch Massenspektrometrie

Gegenüber anderen Methoden, wie z.B. Gasanalyse durch Infrarot-Spektroskopie oder Gaschromatographie, bietet die direkte massenspektrometrische Untersuchung einige Vorteile:

  • Der Probenverbrauch ist sehr gering (wenige µl bis ml pro Minute)
  • Die Reaktionszeiten sind sehr schnell (<1 s)
  • kontinuierliche Probennahme und Analyse sind Teil der Methode
  • Unbekannte Gase können analysiert werden
  • Komplexe Gas- und Dampfmischungen sind möglich
  • Die Nachweisgrenzen sind sehr niedrig (ppb, abhängig von spektraler Interferenz)

 

Typische Anwendungsgebiete der massenspektrometrischen Gasanalyse

  • Reinstgasanalyse
  • Gefriertrocknung
  • Fermentation/Bio-Reaktoren
  • Brennstoffzellenforschung
  • Fusionsforschung, Wasserstoff, Deuterium und Tritium
  • Gas-Herstellung und Speicherung
  • Atmosphärische Reaktionskinetik
  • Vakuumprozessgasanalyse für CVD, MOCVD und ALD
  • Umweltuntersuchung

Weitere Informationen zur Massenspektrometrie:

Was sieht man typischerweise im RGA-Massenspektrum?

Welche Ionen sieht man im Massenspektrum?

Wie funktioniert ein Quadrupol-Massenfilter?