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Vakuumanalysen für Vakuumprozesse

Vakuumprozesse benötigen eine genaue Kontrolle der Gaszusammensetzung und vorhandener Kontaminationen um die Produktqualität und die daraus folgende Ausbeute zu verbessern.

Hiden’s HPR-30 System ist ein differentiell gepumpter Restgasanalysator mit einer Re-Entrant Probenblende, die eine hohe Empfindlichkeit und ein schnelles Ansprechverhalten bei Änderungen der Gaskomposition im Vakuumprozess im Druckbereich zwischen 10-4 mbar bis 0.5 mbar garantiert.

Produkte

 
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Vakuum Prozessgas-Analysator - HPR-30 Zur Untersuchung aller Komponenten in Ihrer Kammer...
 

Broschüren

icon Massenspektrometer für Dünne Schichten, Plasma und Oberflächenwissenschaften (1.03 MB)

   

Poster

icon In-Situ Charakterisierung von ALD Titanium-Dioxid (552.58 kB)

icon Partialdruckregelung beim Reaktiv-Sputtern (342.36 kB)

   

Präsentationen

  icon HPR30 Serie Prozessgasanalysator (357.46 kB)    

 

Applikationshinweise

icon Charakterisierung eines ICP Reaktors (I) (157.62 kB)

icon Charakterisierung eines ICP Reaktors (II) (284.15 kB)

icon Massenspektrometrie von Plasmaprozessen mit dem EQP/Massen- und Energie-Analysator (104.71 kB)

icon Partialdruckregelung beim Reaktiven Sputtern (199.8 kB)

icon Quantitative Analyse von Fluorhaltigen Prozessströmen (190.51 kB)  

 

Technische Informationen

  icon Quadrupol-Massenspektrometer für RGA, Gasanalyse und Prozessüberwachung (680.49 kB)