Vakuumanalysen für Vakuumprozesse

Vakuumprozesse benötigen eine genaue Kontrolle der Gaszusammensetzung und vorhandener Kontaminationen um die Produktqualität und die daraus folgende Ausbeute zu verbessern.

Hiden’s HPR-30 System ist ein differentiell gepumpter Restgasanalysator mit einer Re-Entrant Probenblende, die eine hohe Empfindlichkeit und ein schnelles Ansprechverhalten bei Änderungen der Gaskomposition im Vakuumprozess im Druckbereich zwischen 10-4 mbar bis 0.5 mbar garantiert.

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