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Restgasanalyse

Restgasanalyse ist ein allgemeiner Begriff für die Analyse von Gasen und Dämpfen in Vakuumkammern und Vakuumprozessen. Dabei werden die Gase im Vakuum in der eingebauten Ionenquelle ionisiert, durch den Quadrupol-Massenfilter nach dem Masse-zu-Ladungs-Verhältnis getrennt und im Detektor detektiert.

Die Hiden RGA Serie von Quadrupol-Massenspektrometern ermöglichen die routinemäßige, schnelle Restgasanalyse über einen weiten dynamischen Bereich zur Messung des Partialdrucks von kritischen Komponenten für die Qualität des Vakuumprozesses.

Applikationen sind unter Anderem:

  • Leckdetektion in Vakuumkammern
  • Vakuumqualitätsmessung und -überwachung
  • Detektion von virtuellen Lecks
  • Ausgasstudien
  • Ausheizzyklen/Vakuum Abpumpverhalten

Hiden Analytical bietet äußerst robuste, sensitive, langlebige und stabile Quadrupol-Massenspektrometer an. Für höchste Ansprüche gibt es neben der RGA-Serie noch die HAL/3F Tripelfilter-Serie, die eine Detektion von Partialdrücken im niedrigen ppb-Bereich ermöglicht. Gerne beraten wir Sie bei der Auswahl eines geeigneten Massenspektrometers für Ihre Anwendung. Bitte sprechen Sie uns an!

Zu unseren Massenspektrometern bieten wir zahlreiche Optionen, z.B. Kommunikationsschnittstellen, Einlässe, Mehrfach-Einlässe, Softwarepakete für quantitative Gasanalyse, TPD und EGA, Temperatursteuerungen, Schutzhüllen, Kühlfallen, Wasserkühlungen, spezielle Ionenquellen und Detektoren, und viele mehr. Gerne entwickeln wir auch eine passende Lösung für Ihre Anwendung.

 

Produkte

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Präsentationen

icon Eine Kurze Einführung in die MASsoft Software (721.42 kB)  

   

Applikationshinweise

icon Partialdruckregelung beim Reaktiven Sputtern (199.8 kB)

 

Technische Informationen

icon 3F Serie Quadrupol-Massenspektrometer - Abmessungen (289.94 kB)

icon Quadrupol-Massenspektrometer für RGA, Gasanalyse und Prozessüberwachung (680.49 kB)

icon RGA Serie Quadrupol-Massenspektrometer - Abmessungen (43.74 kB)