Plasma-Charakterisierung

Plasma-Ionenanalysatoren

Systeme zur Plasmacharakterisierung. Ein weiter Bereich von industriellen Prozessen verwendet elektrische Plasmen und neue Anwendungen entwickeln sich sehr rasch. In der Mikroelektronik erfordern höhere Ausbeuten und die fortlaufende Miniaturisierung der Bauteilgeometrien eine gutes Verständnis des Prozesses für die überlebenswichtige Reproduzierbarkeit des Prozesses.

Hiden Plasmasonden (z.B. Langmuirsonden) messen einige der Schlüsselparameter und bieten somit detaillierte Informationen in Bezug auf die Chemie der Plasmareaktion.

 

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