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Plasma-Charakterisierung

Plasma-Ionenanalysatoren

Systeme zur Plasmacharakterisierung. Ein weiter Bereich von industriellen Prozessen verwendet elektrische Plasmen und neue Anwendungen entwickeln sich sehr rasch. In der Mikroelektronik erfordern höhere Ausbeuten und die fortlaufende Miniaturisierung der Bauteilgeometrien eine gutes Verständnis des Prozesses für die überlebenswichtige Reproduzierbarkeit des Prozesses.

Hiden Plasmasonden (z.B. Langmuirsonden) messen einige der Schlüsselparameter und bieten somit detaillierte Informationen in Bezug auf die Chemie der Plasmareaktion.

 

 

Produkte

EQP

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EQP Massenanalysator und Energieanalysator für Plasmauntersuchungen Plasmaanalyse-System ...
Langmuir Sonde ESPion

Langmuir Sonde ESPion

Langmuir Sonde ESPion eine fortschrittliche Langmuir Probe zur Plasma-Diagnose mit der Langmuir...
PSM

PSM

PSM ein Massen- und Energieanalysator für Plasmadiagnostik Komplettsystem zur energieaufgelösten M...
Vakuum Prozessgas-Analysator - HPR-30

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Vakuum Prozessgas-Analysator - HPR-30 Zur Untersuchung aller Komponenten in Ihrer Kammer...
   

Brochüren

icon EQP Massen- und Energieanalysator (2.74 MB)

icon ESPION Serie Advanced zur Plasmadiagnose (309.28 kB)

icon HPR-60 Molekularstrahl-Massenspektrometer-System (668.25 kB)

icon Massenspektrometer für Dünne Schichten, Plasma und Oberflächenwissenschaften (1.03 MB)    

 

Poster

icon Atmosphärische Plasmaanalyse mit Molekularstrahl-Massenspektrometer (1.34 MB)

icon Atmosphärendruck Plasmaanalysen ICPIG (255.33 kB)

icon Ionenenergieverteilung für ein DC Plasma (249.6 kB)

icon Zeitaufgelöste Ionisationsstudien von HIPIMS - PSE 2006 (847.63 kB)  

 

Präsentationen

icon Analyse Geladener Partikel in Plasmaunterstützten Prozessen (597.07 kB)

icon Niedrigenergetische Ne Streuung von Metalloberflächen durch Verwendung von MARISS (321.25 kB)

icon Massenspektrometrie von Plasmaprozessen mit dem EQP System (551.51 kB)    

 

Applikationshinweise

icon Eine neuartige Methode für die Studien Neutraler Komponenten im Prozessplasma (84.04 kB)

icon Eine verbesserte Methode für die Studie Neutraler Komponenten im Prozessplasma (145.2 kB)

icon Charakterisierung eines ICP Reaktors (I) (157.62 kB)

icon Charakterisierung eines ICP Reaktors (II) (284.15 kB)

icon Energetische (Schnell) Analyse von Neutralen Teilchen (84.43 kB)

icon Energien von Ionen die durch eine DC Biased RF Elektrode gesammelt wurden (184.06 kB)

icon Energieverteilung von Ionen und Atomen aus einer Magnetron-Quelle (172.14 kB)

icon EQP Diagnosesystem - Überblick (177.87 kB)

icon EQP Radikale aus einem Plasma (106.29 kB)

icon EQP/EQS Zeitaufgelöste Studien in Ionenstrahl- und Plasmaprozessen (245.57 kB)

icon Untersuchung von Plasmen bei Atmosphärischem Druck (235.54 kB)

icon Ionenenergie-Verteilung beim Nachglühen einer Gepulsten ICP (323.02 kB)

icon Ionenenergie-Verteilung von Positiven Ionen in einer Argon-Entladung (118.31 kB)

icon Massenspektrometrie von Plasmaprozessen mit dem EQP/Massen- und Energie-Analysator (104.71 kB)

icon Die Energien von Positiven und Negativen ionen in einem RF Plasma in Lachgas (173.12 kB)  

 

Technische Informationen

icon Daten-/Steuerungseingänge und Ausgänge und Spezielle Anwendungen (16.38 kB)

icon EQP und EQS - Technische Information (200.03 kB)

icon EQP 1000 - Sonde schematisch (65.98 kB)

icon EQP 300 500 Serie - Sonde Zeichnung (68.54 kB)

icon HPR60 Molekularstrahl Sampling System (108 kB)

icon Einführung in Langmuirsonden (147.72 kB)