Oberflächenanalytik – Oberflächenphysik

Oberflächenanalytik Methoden

In der aktuellen Forschung und Entwicklung, sowie in Prozessen für die Herstellung von High-Tech-Produkten ist die präzise Kontrolle von Oberflächeneigenschaften unabdingbar. Zu den State-of-the-art-Methoden der Oberflächentechnik zählen:

Magnetron Sputtering
ALD – Atomlagenabscheidung
CVD – Chemische Gasphasenabscheidung
MOCVD – Metallorganische CVD
PECVD – Plasmaunterstütze CVD
MBE – Molekularstrahlepitaxie
RIE – reaktives Ionenätzen
IBE/RIBE – Ionenstrahlätzen bzw. reaktives Ionenstrahlätzen

Die verschiedenen Oberflächentechniken erfordern eine exakte Kontrolle der Prozesse, sowie eine akkurate Analyse der erhaltenen Materialien. Sowohl für die Prozessüberwachung als auch für die Analyse sind Massenspektrometer unerlässlich. Für die Tiefenprofilanalyse, die Bestimmung der Oberflächenzusammensetzung und raumaufgelöste Bildgebung der verschiedenen Elemente bietet die SIMS Workstation eine komplett ausgestattete Analysenumgebung.

Für die Restgasanalyse in Hochvakuumumgebungen (UHV/XHV), die für die meisten Prozesse benötigt wird, bietet die RGA-Reihe von Hiden die notwendige Detektionsempfindlichkeit, mit der Möglichkeit positive und negative Ionen kontinuierlich über 7 Dekaden zu analysieren.

Weiterhin bietet Hiden Quadrupol-Massenspektrometer (QMS) für die Anwendung in temperatur-programmierter oder Ionendesorption, für die Triplefilter-QMS mit Pulsionenzähldetektoren die notwendige Präzision in der Analytik liefern.

 

Produkte

EPIC Quadrupol Massenspektrometer für UHV Analysen

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EPIC Quadrupol Massenspektrometer für UHV Analysen von Neutralen, Radikalen und Ionen. Triple ...
EQS

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EQS - Sekundärionen-Massenspektrometer als SIMS Analysator. State-of-the-Art Anbau-SIMS-Sonde ...
HAL 3F Triple-Filter Massenspektrometer

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Triple Filter Quadrupol-Massenspektrometer für Präzise Gasanalysen Das HAL 3F Triple-Filter M...
IDP Massenspektrometer

IDP Massenspektrometer

zur Analyse von Ionen, Neutralteilchen und Radikalen in UHV Desorptionsstudien Das einzige...
PIC Massenpektrometer für UHV TPD

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und schnelle Ereignisse in Gasanalysen PIC Triplefilter Quadrupol zur präzisen Gasanalyse ...
RGA Serie Quadrupol-Massenspektrometer

RGA Serie Quadrupol-Massenspektrometer

Restgasanalysatoren für Vakuumdiagnose und Lecktests RGA/ Lecksuche Virtuelle Lecks ...
SIMS Workstation

SIMS Workstation

Ein Oberflächenanalysesystem für Tiefenprofile Dünner Schichten Eine robuste SIMS und SN...
TPD Workstation

TPD Workstation

für Thermische Desorptionsstudien im UHV Mehrfach-Port UHV Kammer mit beheiztem Probenhalter ...

SIMS – für Tiefenprofilanalysen, Bestimmung der Oberflächenzusammensetzung, und Bildgebung von Elementen, Hiden’s SIMS Workstation liefert hierfür die komplette Analysenumgebung.

RGA – Die Hiden Quadrupol-Massenspektrometer bieten eine hohe Detektionsempfindlichkeit für die anspruchvollsten XHV/UHV Umgebungen. Der Pulsionenzähldetektor ermöglicht die Messung sowohl von Positiven und Negativen Ionen kontinuierlich über 7 Dekaden, der integrierte „Akkumulations-Modus“ wird zum einfangen von diskreten Partikelereignissen verwendet.

UHV Temperatur-Programmierte-Desorptionsstudien (TPD) – Hiden Analytical’s 3F/PIC Massenspektrometer mit Pulsionenzähldetektor sind erhältlich und ausgestattet für UHV TPD und ermöglichen die schnelle Detektion über einen weiten dynamischen Bereich von unterschiedlichen Komponenten, und erfasst das komplette Desorptionsereignis. Die Daten der Temperaturrampe werden automatisch und simultan mit den Massenspektrumsdaten aufgenommen.

Die Hiden IDP Ionen-Desorptions-Probe ist als Quadrupol-Massenspektrometer konfiguriert zur Analyse von niederenergetischen Elektronen- und Photonenstimulierten Desorptionstudien.
 

Oberflächentechnik Anwendungsgebiete

Der Einsatz der vorgenannten Oberflächentechniken ist in vielen Gebieten nicht mehr wegzudenken. Darunter die Mikroelektronik, Nanotechnology und Solartechnik sowie die Fertigung von Flachbildschirmen, mechanischen, optischen oder photonischen Bauteilen, Textilien, Beschichtungen und auch in Chemie, Biologie und Medizin.

 

Broschüren

 

icon SIMS Broschüre TI 181 (669.66 kB)

icon SIMS Broschüre TI 181 HiRes (5.5 MB)

 

 

Präsentationen

 

icon IMP Endpunktdetektionssystem für Ionenätzanwendungen (277.87 kB)

icon SIMS – Bilder (2.17 MB)

icon SIMS Workstation & Anbausysteme (4.22 MB)

 

 

Applikationshinweise

 

icon Energetische (Schnell) Analyse von Neutralen Teilchen (84.43 kB)

icon Energieverteilung von Ionen und Atomen aus einer Magnetron-Quelle (172.14 kB)

icon EQP/EQS Zeitaufgelöste Studien in Ionenstrahl- und Plasmaprozessen (245.57 kB)

icon EQS vs. EPIC – Ionenenergie-Verteilungsfunktion (270.08 kB)

icon Schnelle Analyse von Neutralteilchen (300.59 kB)

 

 

Technische Informationen

 

icon Daten-/Steuerungseingänge und Ausgänge und Spezielle Anwendungen (16.38 kB)

icon EPIC 1000 Serie Abmessungen (41.97 kB)

icon EQS 1000 Serie – Zeichnung (78.62 kB)

icon EQS 300/500 Serie – Zeichnung (52.17 kB)

icon SIMS Imaging FoV – Zeichnung (60.02 kB)

icon UHV TPD Analysator Kundenspezifische Abschirmungen (2.69 MB)

 

 

Produktspezifikationen

 

icon 3F Triplefilter für Temperaturprogrammierte Desoprtion (84.34 kB)

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