+49 8857 693 01
surface-science-medium

Nanotechnologie

Nanotechnologie ist die Forschung und Technologieentwicklung auf atomarer, molekularer oder makromolekularer Ebene, im Längenbereich von 1 – 100 nm, kombiniert mit der Herstellung und Verwendung von Strukturen, Bauteilen und Systemen die neuartige Eigenschaften und Funktionen durch ihre kleine und/oder Zwischengröße besitzen und mit der Fähigkeit der Steuerung und Manipulation auf atomarer Skala.

Hiden’s Quadrupol-Massenspektrometer ermöglichen Vakuum-, Plasma- und Obeflächenanalysen in Nanotechnologieanwendungen, inklusive SIMS Tiefenprofile von Dünnen Schichten im Nanometer-Bereich, Plasmacharakterisierung für verbesserte Bauteil-Ätzprozesse und Vakuumdiagnosen /Temperaturprogrammierte Desorptionsanalysen in UHV Raster-Tunnelmikroskopen.

Produkte

Hiden Quadrupol Massenspektrometer Komponenten

Hiden Quadrupol Massenspektrometer Komponenten

Hiden Quadrupol Massenspektrometer Komponenten Ein umfangreiches Zubehör an Massenfiltern, ...
SIMS Workstation

SIMS Workstation

SIMS Workstation Ein Oberflächenanalysesystem für Tiefenprofile Dünner Schichten Eine ro...
TPD Workstation

TPD Workstation

TPD Workstation für Thermische Desorptionsstudien im UHV Mehrfach-Port UHV Kammer mit ...
XBS

XBS

XBS Triple Filter Massenspektrometer konfiguriert für k-cell und e-gun MBE Überwachung d...

Broschüren

icon SIMS Broschüre TI 181 (669.66 kB)

icon SIMS Broschüre TI 181 HiRes (5.5 MB)

 

Präsentationen

icon Analyse Geladener Partikel in Plasmaunterstützten Prozessen (597.07 kB)

 

Applikationshinweise

icon EQS vs. EPIC - Ionenenergie-Verteilungsfunktion (270.08 kB)

 

Technische Informationen

icon Daten-/Steuerungseingänge und Ausgänge und Spezielle Anwendungen (16.38 kB)

icon Beispieldaten - Endpunktdetektion (57.09 kB)