Nanotechnologie

Nanotechnologie ist die Forschung und Technologieentwicklung auf atomarer, molekularer oder makromolekularer Ebene, im Längenbereich von 1 – 100 nm, kombiniert mit der Herstellung und Verwendung von Strukturen, Bauteilen und Systemen die neuartige Eigenschaften und Funktionen durch ihre kleine und/oder Zwischengröße besitzen und mit der Fähigkeit der Steuerung und Manipulation auf atomarer Skala.

Hiden’s Quadrupol-Massenspektrometer ermöglichen Vakuum-, Plasma- und Obeflächenanalysen in Nanotechnologieanwendungen, inklusive SIMS Tiefenprofile von Dünnen Schichten im Nanometer-Bereich, Plasmacharakterisierung für verbesserte Bauteil-Ätzprozesse und Vakuumdiagnosen /Temperaturprogrammierte Desorptionsanalysen in UHV Raster-Tunnelmikroskopen.

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