Vakuum Prozessgasanalysatoren CVD / MOCVD / ALCVD

Gasanalysen zur Reaktionskinetik und Gaszusammensetzung sind ein wesentlicher Bestandteil in der Prozessentwicklung und Überwachung von Chemischen Abscheideprozessen (CVD, PVD etc.).

Applikationsbereiche sind das Aufwachsen von Hartstoffschichten, Solarzellen, Diamant, DLC, Nitriden, III-V und II-VI Materialien.

Hiden Gas- und Plasmaanalysatoren enthalten spezielle Technologien zur Probennahme die eine hochempfindliche Analyse kritische Komponenten in CVD-Techniken erlauben, inklusive „Hot Filament“ CVD, Plasma Enhanced CVD, ALCVD und MOCVD.

SIMS ist eine hochempfindliche Oberflächen-Analysetechnik die für die Analyse Dünner Schichten durch CVD eingesetzt wird.

 

 

Produkte

 

EQP

EQP

Massenanalysator und Energieanalysator für Plasmauntersuchungen Plasmaanalyse-System zur ...
HPR-20 QIC

HPR-20 QIC

Echtzeit Gasanalysator für multiple Gas- und Dampfanalysen. Das Hiden HPR-20 QIC Kompaktes ...
Langmuir Sonde ESPion

Langmuir Sonde ESPion

eine fortschrittliche Langmuir Probe zur Plasma-Diagnose mit der Langmuir Sonde ESPion Die...
PSM

PSM

ein Massen- und Energieanalysator für Plasmadiagnostik Komplettsystem zur energieaufgelösten M...
QIC-100 Echtzeit Gasanalysesystem

QIC-100 Echtzeit Gasanalysesystem

QIC-100 Echtzeit Gasanalysesystem mit Massenbereich bis 1000 amu Kompaktes Bench-Top Analysesystem...
Vakuum Prozessgas-Analysator - HPR-30

Vakuum Prozessgas-Analysator - HPR-30

Zur Untersuchung aller Komponenten in Ihrer Kammer oder von erzeugten Gasen im System. CVD...

 

 

Broschüren

 

icon QIC Serie Gasanalysatoren Echtzeit-Gasanalysesysteme (636.8 kB)

 

 

Poster

 

 icon Analyse von MOCVD GaInP/Ga(In)As/Ge Triple Junction Solarzellen durch SIMS (181.2 kB)

icon In-Situ Charakterisierung von ALD Titanium-Dioxid (552.58 kB)

 

 

Präsentationen

 

icon Analyse Geladener Partikel in Plasmaunterstützten Prozessen (597.07 kB)

 

 

 

Applikationshinweise

 

icon Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition PPECVD Prozessgassanalyse (194.24 kB)

icon Studien von Magnetron Sputter-Abscheidungen Dünner Schichten (102.84 kB)

Schreibe einen Kommentar

Deine E-Mail-Adresse wird nicht veröffentlicht. Erforderliche Felder sind mit * markiert.