Dünnfilm und Oberflächenanalyse

Quadrupol-Massenspektrometer für Dünnfilm- und Oberflächenphysik

Die Produktion von Halbleiterbauteilen enthält eine Vielzahl von Vakuum-, Gas- und Plasmaprozessen, die hohe Anforderungen an die Prozessentwicklung und die Prozessüberwachung stellen, um den Herstellungsprozess zu verbessern und die Produktausbeute zu erhöhen. Hiden Analytical bietet für die Analyse Präzisions-Massenspektrometer, die mittels Sekundär-Ionen-Massenspektrometrie (SIMS) das Mittel der Wahl für exakte Analytik bei Ätzprozessen und Schichtanalysen darstellt.

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