Proteus:
Das Proteus Multistrom-Ventil mit Umschaltfunktion (Umschaltventil) für Mehrfachströme direkt integriert in ihren Prozess, mit folgenden Eigenschaften:
* 20-, 40- und 80-Wege Probenkonfigurationen.
* Integrierter Temperatursensor / Heizung bis zu 120°C
* Gasflüsse von 0.01 – 10 l / min von 10 mbar bis 2 bar.
* Keine Quer-Kontaminationen für sehr geringe Memory-Effekte.
* Niedriges Totvolumen für schnelle Ansprechzeiten.
* Neuartige Dichtungstechnologie ermöglicht das effektive Abdichten min hoher Lebensdauer (>6×106 Ereignisse)
* Direktantrieb, Mikroschritt-Motor mit hohem Drehmoment mit Inkrementaldrehgeber für Grundstellung der Z-Position und geschlossener Bewegungssteuerung.
* Bewegungssteuerung enthält: Bi-Direktionale Richtung für schnelle Schaltzeiten.
* Intelligente Beschleunigung / Verzögerung, Wartungsposition, Fehlermitteilung.
* Einfache Integration in analytische Anlagen, wie z.B. das Hiden HPR20 Massenspektrometer.
Massenspektrometer für die Oberflächenanalyse:
RGA – Hidens Quadrupol Massenspektrometer bieten höchste Empfindlichkeit im anspruchsvollen XHV / UHV Vakuumbereich. Der Ionenzähldetektor erlaubt die Messung von positiven und negativen Ionen über sieben kontinuierliche Dekaden. Durch den integralen Akkumulationsmodus können dabei kleinste Konzentrationen nachgewiesen werden (Desorptionsstudien – Oberflächenanalyse).
UHV Temperatur Programmierte Desorptionsstudien (TPD-Oberflächenanalyse) – Hidens Massenspektrometer aus der 3F /PIC – Serie verfügen über eine Ionen-Pulszähleinrichtung und wurden speziell für UHV / TPD-Prozesse entwickelt. Sie erlauben eine schnelle Detektion zahlreicher Stoffe über einen weiten, dynamischen Bereich während des gesamten Desorptionsprozesses. Dabei werden die Temperaturbereichs-Daten automatisch und gleichzeitig mit den Massen-Spektraldaten aufgezeichnet.
Das IDP von Hiden (Ion Desorption Probe)- Ionen Desorptionssonde – ist ein Quadrupol Massenspektrometer für die Oberflächenanalyse von gering energetischen (thermischen) Ionen in Elektronen- und Photonen-stimulierten Desorptionsstudien, aber auch für die Laserdesorption.
SIMS – (Secondary Ion Mass Spectrometer) eignet sich für die Tiefenprofilanalyse, zur Messung der Oberflächenstruktur und für das Element-Imaging (SIMS und SNMS). Hidens SIMS Workstation ist ein komplettes Analysetool für die Oberflächenanalyse.
Plasmaanalyse & Plasmadiagnose
Der Einsatz von elektrischen Plasmen gewinnt in einer Vielzahl von industriellen Prozessen immer mehr an Bedeutung, wobei die Applikationen sich rapide weiter entwickeln. Speziell in der Mikroelektronik-Industrie wird eine stetig wachsende Ausbeute bei immer kleiner werdender Geometrie der Geräte gefordert. Um dies zu erreichen, ist die Reproduzierbarkeit und Nachvollziehbarkeit von Prozessabläufen unabdingbare Voraussetzung.
Mit den hochentwickelten Plasma Sonden von Hiden können die Schlüsselparameter des Plasmamaterials gemessen werden, die dem Anwender detaillierte Informationen über die Plasma-Reaktionschemie liefern.
Produkte
==> EQP: Massen / Energie Analysator zur Analyse von Ionen und Neutralteilchen in Plasma Prozessen
==> ESPION: Hightech elektrostatische Langmuir Sonde für die elektrische Charakterisierung von Plasma Prozessen
==> HPR- 30: Prozessgas Analysator für die Restgas Analyse in der Kammer und zur online- Analyse in Plasma Prozessen
==> PSM – Serie: Hochentwickelte Plasmaproben Massenspektrometer
Sorptionstechnik & Sorptionsmessungen