Prozessgasanalyse

Prozessgasanalyse – Industrieprozesse erfordern eine langzeitstabile Messung von Prozessgasen. Speziell für diese Applikationen offeriert Hiden entsprechend konfigurierte Prozessgasanalyse – Systeme an.

Diese sind im Extremfall auch für Fluor – Prozesse geeignet. Mit Hilfe eines speziellen Membraneinlasses können Gase auch direkt in Flüssigkeiten detektiert werden.

Weitere Einsatzgebiete sind die kontinuierliche Überwachung von Abpumpzyklen bei Vakuumprozessen.

QIC20+, HPR30, HPR40, HPR80