Plasmamonitore

Plasmamonitore - die hochentwickelten Plasmamonitore von Hiden können heute in nahezu allen Plasmaprozessen zur Charakterisierung von Ionen, Radikalen und Neutralteilchen eingesetzt werden. Die Energieverteilung der Teilchen kann im Bereich von +1000 bis -1000 eV bestimmt werden. Mithilfe des HPR60 - Einlasssystems können auch Hochdruckplasmen bis Atmosphärendruck untersucht werden.

Eine vollintegrierte Gating - Funktion mit Trigger ermöglicht zeitaufgelöste Messungen für gepulste Prozesse (kleinstes Zeitfenster 100 ns).

PSM und EQP mit 6 mm, 9mm, 12mm Stabsystem, 300 amu, 510 amu, 1000 amu, 2500 amu