Plasmaanalyse

Plasmamonitore – die hochentwickelten Plasmamonitore von Hiden können heute in nahezu allen Plasmaprozessen zur Charakterisierung von Ionen, Radikalen und Neutralteilchen eingesetzt werden. Die Energieverteilung der Teilchen kann im Bereich von +1000 bis -1000 eV bestimmt werden. Mithilfe des HPR60 – Einlasssystems können auch Hochdruckplasmen bis Atmosphärendruck untersucht werden. Eine vollintegrierte Gating – Funktion mit Trigger ermöglicht zeitaufgelöste Messungen für gepulste Prozesse (kleinstes Zeitfenster 100 ns).