Oberflächenanalytik SIMS, SNMS, TPD, TDS

Oberflächenanalytik SIMS, SNMS, TPD, TDS
HAL 3F PIC, EPIC, IDP - Systeme; Sims-Workstation; TPD (TDS) – Komplettpaket

Oberflächenanalytik – RGA für UHV

Hidens Quadrupol Massenspektrometer bieten eine hochsensible Detektionskapazität im anspruchsvollen XHV /UHV Vakuumbereich. Der Ionenzähldetektor erlaubt die Messung von Positiven und negativen Ionen über sieben kontinuierliche Dekaden. Für die Oberflächenanalytik können durch den integralen Akkumulationsmodus dabei kleinste Konzentrationen nachgewiesen werden.

UHV Temperatur Programmierte Desorptionsstudien (TPD-Oberflächenanalytik) – Hidens Massenspektrometer aus der 3F /PIC – Serie verfügen über eine Ionen Pulszähleinrichtung und wurden speziell für UHV / TPD-Prozesse entwickelt. Sie erlauben eine schnelle Detektion zahlreicher Stoffe über einen weiten, dynamischen Bereich während des gesamten Desorptionsprozesses.

Dabei werden die Temperaturbereichs Daten automatisch und gleichzeitig mit den Massen Spektraldaten generiert. Das IDP von Hiden (Ion Desorption Probe)- Ionen Desorptionssonde – ist ein Quadrupol Massenspektrometer, das speziell für die Analyse von gering energetischen Ionen in Elektron- und Photon stimulierten Desorptionsstudien entwickelt wurde. SIMS – (Secondary Ion Mass Spectrometer) eignet sich für die Tiefenprofil Analyse, zur Messung der Oberflächenstruktur und für das Element Imaging. Hidens SIMS Workstation ist ein für die Oberflächenanalytik komplettes Tool. Die entsprechenden Komponenten sind nach Kundenwunsch frei konfigurierbar.