Langmuirsonde - Espion

Langmuirsonde - Espion von Hiden ist die schnellste, kommerziell verfügbare Langmuirsonde weltweit. Kritische Plasmaparameter wie Ionendichte und Elektronendichte, Elektronentemperaturverteilung und Homogenität des Plasmas können automatisch gemessen, ausgegeben und zur Steuerung des Plasmaprozesses eingesetzt werden.

Die Sonde wird standardmäßig mit einer Gating Funktion für gepulste Plasmen für Industrie - und akademische Anwendungen ausgeliefert. Die Sonde ist geeignet für DC und RF – Plasmen (auch für beschichtendes Plasma CVD, PECVD, Magnetron – Plasma, induktive Plasmen, Kapazitive Plasmen…).

Der Einsatz bei unterschiedlichen Frequenzen in RF - Plasmen kann durch einfach zu tauschende Filter realisiert werden. ESPION statisch oder mit automatischer Z-Shift 300, 600 oder 915 mm